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          RGA 系列薄型高速高重復性直驅旋轉平臺

          簡要描述:RGA 薄型高速旋轉臺非常適合需要低質量和大孔徑的工業應用,但需要快速和精確地旋轉晶圓卡盤等樣品架。

          快速旋轉、薄型、大光圈
          高重復性
          低擺動和低偏心率
          高扭矩和高加速度
          全鋼結構,具有高剛度和熱穩定性
          即插即用 ESP 兼容性

          基礎信息

          產品型號

          廠商性質

          經銷商

          更新時間

          2026-01-05

          瀏覽次數

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          詳細介紹
          品牌Newport/美國價格區間面議
          產地類別進口產品種類電動
          應用領域綜合

          產品型號

          型號規格
          RGA150電動旋轉位移臺,高速,薄款設計
          RGA150MAP電動旋轉位移臺,高速,薄款設計

          產品規格

          型號RGA150RGA150MAP
          角度范圍360 °360 °
          最大速度1800 °/s1800 °/s
          最小位移增量0.01 mdeg0.01 mdeg
          峰值驅動扭矩11 Nm11 Nm
          中心負載能力50 N50 N
          雙向重復精度,典型值±0.0975 mdeg±0.0975 mdeg
          精度,典型值±4 mdeg
          精度,保證值±8 mdeg±1 mdeg
          擺動,典型值±12 µrad±12 µrad
          擺動,保證值±26 µrad±26 µrad
          偏心率,典型值±0.5 µm±0.5 µm
          偏心率,保證值±1 µm±1 µm
          孔徑90 mm90 mm
          MTBF20,000 hours @ 30% duty cycle20,000 hours @ 30 % duty cycle
          電纜長度5 m5 m
          重量4.5 kg4.5 kg


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